Application of magnetic fields in industrial growth of silicon single crystals
verfasst von
W. von Ammon,
Y. Gelfgat,
L. Gorbunov,
A. Muižnieks,
Y. Makarov,
J. Virbulis,
G. Müller,
A. Mühlbauer
Organisationseinheit(en)
Institut für Elektroprozesstechnik
Externe Organisation(en)
Siltronic AG
University of Latvia
Semiconductor Technology Research Inc
PAIC Ltd
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Typ
Artikel
Journal
Magnetohydrodynamics
Band
42
Seiten
427-444
Anzahl der Seiten
18
ISSN
0024-998X
Publikationsdatum
2006
Publikationsstatus
Veröffentlicht
Peer-reviewed
Ja
ASJC Scopus Sachgebiete
Allgemeine Physik und Astronomie,
Elektrotechnik und Elektronik
